2021年7月,公司正式發布MEMS微熱板,此型號微熱板具有如下特性:
● 集成微型加熱器和叉指電極
● 懸膜式結構
● 面積小,利于集成
● 功耗低
● 可靠性高
● 控溫準確
此系列芯片可以廣泛應用于各種 MEMS 氣體傳感器以及實驗設備。